Plataforma X(Y)Z equipada con sensor confocal cromático de punto o línea para metrología 3D sin contacto
La plataforma STI-Micromesure2 de nuestra representada STIL es un sistema completo de laboratorio para metrología óptica sin contacto 3D, en la que un sensor confocal cromático está montado sobre una sistema de granito con posicionamiento motorizado de precisión en los ejes XZ (o bien XYZ). La tecnología confocal cromática posibilita la medida simultánea de distintos materiales (incluso opacos o trasparentes) y sin que afecte la luz ambiente en la medida. Esto permite realizar medidas de precisión (metrología 3D) de superficies (microtopografía, rugosidad, metrología de formas...) y de grosores en medios traslúcidos.
El sensor óptico puede ser:
- Sensor de punto (STI-PointSensor)
- Sensor de línea (STI-LineSensor) para medida rápida de áreas, basado en 180 sensores puntuales
Pinche por favor en el tipo de sensor para conocer la tecnología y capacidades.
Configuraciones:
- 2D: 100x50, 200x50 (XxZ, mm)
- 3D: 100x100x50, 200x200x50, 200x200x100, 300x300x200 (XxYxZ, mm)
Existe la opción de encóders en los posicionadores lineales.
Micromesure2 equipado con sensor confocal cromático puntal
Ventajas y características
Sensores confocales cromáticos:
- Metrología 3dimensional sin contacto
- Resoluciones nano y micrométricas
- Sensor de luz blanca (sin moteado, amplio rango de medida)
- Medida coaxial (sin sombras)
- Medida de pendientes pronunciadas en superficies reflectivas
- Insensible a la luz ambiente
- Puede medir metal, vidrio, semiconductor, cerámica,…y a la vez
- Medida de grosor y forma en medios trasparentes
- Gran rango de medidas (de 20 µm a 24 mm)
Sistema de escaneo de precisión:
- Encoder de 0.1 µm en eje Z
- Opcional: encoder de 0.1 µm en eje XY
- Baja vibración
- Correcciones de ortogonalidad y planitud
- Cerramiento trasparente para evitar turbulencias
Controladores válidos: CCS-Prima y STIL-DUO
Pinche para información de los sensores confocales cromáticos de punto STI-PointSensor
Micromesure2 equipado con sensor confocal cromático lineal MPLS180
Disponible con los cabezales ópticos: NanoView, MicroView, and DeepView:
| NanoView | MicroView | DeepView |
Line length (mm) | 1.34 | 1.87 | 4.1 |
Depth of field (mm) | 0.11 | 0.5 | 2.6 |
Spot size diam (µm) | 3.75 | 5.2 | 11.5 |
Pitch (µm) | 7.4 | 10 | 22.5 |
Max slope angle (deg) | 40 | 30 | 20 |
Working distance (mm) | 4.6 | 10 | 47.8 |
Axial resolution (µm) | 0.040 | 0.125 | 0.800 |
Accuracy (µm) | 0.12 | 0.50 | 5.00 |
Gracias al gran rendimiento y velocidad del MPLS180, la duración de una medida en superficies grandes se reduce de varias horas a pocos minutos (incluso segundos).
Pinche para información de los sensores confocales cromáticos de línea STI-LineSensor.
Micromesure2: especificaciones mecánicas
| X & Y | Z axis | |
Configuration | 3M – 1R | 3M – 3R | Both |
Travel | 100 mm | 100 mm | 50 mm |
Encoder | No | Yes | No |
Position accuracy | 10 µm /100 mm | 1 µm /100 mm | 1 µm /100 mm |
Position resolution | 0.1 µm | 0.1 µm | 0.1 µm |
Flatness | 1 µm /100 mm | 1 µm /100 mm | 1 µm /100 mm |
Max. speed | 20 mm/s | 20 mm/s | 5 mm/s |