Etapas etapas motorizadas posicionamiento precisión alto vacío, Zaber

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Zaber también es fabricante de una familia de plataformas/etapas y actuadores de alto rendimiento preparados para condiciones de alto vacío (hasta 10-6 Torr de presión) y bajo vacío (hasta 10-3 Torr de presión).

A continuación tiene cuadros resumen de las distintas familias de etapas motorizadas de precisión compatibles con alto y bajo vacío. Le sugerimos seleccionar la familas(s) de su interés aquí e ir a la página web de Zaber para obtener toda la información técnica, precios, accesorios, CAD, etc,...

ETAPAS LINEALES

	Vacuum	Controller	Travel	Accuracy	Repeatability	Velocity	Centered load	Weight
	Torr	Built-in	mm	µm (unidir)	µm	mm/s (max)	Kg (max)	Kg
X-LRQ-SV2	High, 10^-6	yes	75, 150, 300, 450, 600	15 - 150	< 2.5	35, 205	100	2,27-4,86
LRQ-V2	High, 10^-6	no	75, 150, 300, 450, 600	15 - 150	< 2.5	35, 205	100	2,27-4,86
X-LSM-SV2	High, 10^-6	yes	25, 50, 100, 150, 200	15 - 85	< 3, < 6	24, 100	10	0.39-0.50
LSM-V2	High, 10^-6	no	25, 50, 100, 150, 200	15 - 85	< 3, < 6	24, 100	10	0.39-0.50
LSA-V2	High, 10^-6	no	10, 25	18, 24	< 1	10	2.5, 3	0.10, 0.14
X-LRQ-SV1	Low, 10^-3	yes	75, 150, 300, 450, 600	15 - 150	< 2.5	35, 205	100	2,27-4,86
LRQ-V1	Low, 10^-3	no	75, 150, 300, 450, 600	15 - 150	< 2.5	35, 205	100	2,27-4,86
X-LSM-SV1	Low, 10^-3	yes	25, 50, 100, 150, 200	15 - 85	< 3, < 6	24, 100	10	0.39-0.50
LSM-V1	Low, 10^-3	no	25, 50, 100, 150, 200	15 - 85	< 3, < 6	24, 100	10	0.39-0.50
LSA-V1	Low, 10^-3	no	10, 25	18, 24	< 1	10	2.5, 3	0.10, 0.14

ACTUADORES LINEALES

	Vacuum	Controller	Travel	Accuracy	Repeatability	Velocity	Peak Thrust	Weight
	Torr	Built-in	mm	µm (unidir)	µm	mm/s (max)	N (max)	g
X-NA-SV2	High, 10^-6	yes	25, 50	40, 55	< 1	30	25	0.156, 0.176
X-NA-SV1	Low, 10^-3	yes	25, 50	40, 55	< 1	30	25	0.156, 0.176

ELEVADORES VERTICALES

	Vacuum	Controller	Travel	Accuray	Repeatability	Centered load	Velocity	Weight
	Torr	Built-in	mm	µm (unidir)	µm	Kg (max)	mm/s (max)	g
X-VSR-SV2	High, 10^-6	yes	20, 40	50, 35	< 1	10	48	0.56-0.77
VSR-V2	High, 10^-6	no	20, 40	50, 35	< 1	10	48	0.56-0.77
X-VSR-SV1	Low, 10^-3	yes	20, 40	50, 35	< 1	10	48	0.56-0.77
VSR-V1	Low, 10^-3	no	20, 40	50, 35	< 1	10	48	0.56-0.77

ETAPAS ROTATORIAS

	Vacuum	Controller	Accuracy	Repeatability	Max. speed	Max. center. load	Stage top diam.	Weight
	Torr	Built-in	⁰ (unidir)	⁰	⁰/s	Kg	mm	Kg
X-RSW60A-SV2	High, 10^-6	yes	0.14	< 0.02	100	20	60	0.72
RSW60A-V2T4	High, 10^-6	no	0.14	< 0.02	100	20	60	0.62
X-RSM40B-SV2	High, 10^-6	yes	0.14	< 0.02	120	5	40	0.3
RSM40B-V2T4	High, 10^-6	no	0.14	< 0.02	120	5	40	0.3
X-RSW60A-SV1	Low, 10^-3	yes	0.14	< 0.02	100	20	60	0.72
RSW60A-V1T4	Low, 10^-3	no	0.14	< 0.02	100	20	60	0.62
X-RSM40B-SV1	Low, 10^-3	yes	0.14	< 0.02	120	5	40	0.3
RSM40B-V1T4	Low, 10^-3	no	0.14	< 0.02	120	5	40	0.3

GONIÓMETROS

	Vacuum	Controller	Center rotation	Range	Accuracy	Repeatability	Max. speed	Center. load	Weight
	Torr	Built-in	height, mm	⁰	⁰ (unidir)	⁰	⁰/s	Max, Kg	Kg
X-GSM-SV2	High, 10^-6	yes	40, 60	±10, ±7	0.06	< 0.005	30	3	0.32
GSM-V2	High, 10^-6	no	40, 60	±10, ±7	0.06	< 0.005	30	3	0.32
X-GSM-SV1	Low, 10^-3	yes	40, 60	±10, ±7	0.06	< 0.005	30	3	0.32
GSM-V1	Low, 10^-3	no	40, 60	±10, ±7	0.06	< 0.005	30	3	0.32

En función de la aplicación se requerirá un determinado grado de vacío, siendo algunas típicas:
- Posicionamiento motorizado para Bajo vacío (low vacuum motorized positioning): soldadura (brazing), sinterizado (sintering), espectroscopía de masas.
- Posicionamiento motorizado para Alto vacío (high vacuum motorized positioning): equipamiento y fabricación óptica, thin film coating, microscopía SEM (Scanning Electron Microscopy).

Consideraciones para condiciones de vacío

Para conseguir fabricar posicionamiento motorizado compatible con vacío (y ambientes limpios y libres de contaminantes), hay que considerar ciertos aspectos en la línea de producción:
- Desgasificación (para minimizarlo, se minimizará la superficie de material utilizado)
- Selección de materiales de fabricación (uso de materiales con baja presión de vapor como acero inoxidable o aluminio)
- Gestión del calor (en ausencia de aire, es necesario diseñar los componentes con materiales que eviten sobrecalentamiento)
- Fugas virtuales de gas atrapado (minimizado con tornillos especiales)
- Gestión de los cables: las etapas de Zaber se conectan en serie en alimentación y control (daisy-chain): sólo un orificio pasante para varias etapas

Además, cada uno de los componentes que forman cada producto de Zaber han sido desengrasados y limpiados usando isopropileno y ultrasonicados, y luego ensamblados usando guantes de sala blanca y en el interior de una sala blanca de clase 100 (ISO class 5). Los productos no abandonan la sala blanca hasta que no han sido empaquetados en bolsas especiales.

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Plataformas/etapas para vacío

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